厦门柔性电子研究院
福建省协同创新院柔性电子产业技术分院
——协同  创新  共享  发展
超精细线路的加工工艺(L/S:25um/25um)


需求单位:厦门弘信电子科技集团股份有限公司

需求内容说明:应用方向:智能手机等消费电子

                        达成效果:加工后的产品满足干膜解析能力:15um,蚀刻能力:蚀刻因子≥4,线宽公差:±2um

                        技术难点:现有干膜及蚀刻能力都较难满足超精细线路的加工,现有加工后易出现线路侧蚀,短路,曝光不良等不良

技术指标要求:干膜解析能力:15um,蚀刻能力:蚀刻因子≥4,线宽公差:±2um

其他要求:蚀刻后线宽无侧蚀、缺口等不良

联系人:董志明

电话:18950103481