需求单位:钜德电子
需求内容说明:
现有设备主要依赖于进口,项目需求旨在对设备进行开发,实现设备自动上下料,自动清洁,设备正压设计,实时对接MES系统,在线扫描及跟踪,配合国产的电镀设备,实现全自动作业方式。
技术指标要求:
适合晶圆尺寸:8-12寸
效率:≤30/pcs
上料精度:±30um
具有防呆功能
定位方式:aligner
联系人:朱先生
电话:13606004944